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sidewall spacer用途在半導體製程，經歷了哪些重大的發展節點？的討論與評價
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另一方面，在電晶體製程的側壁結構(spacer) 也是擔任傳遞力量的重... sidewall spacers”, IEEE Electron Device Letters, Vol. 12, No. 3, pp. 89–91,. 於rportal.lib.
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H01L29/66719 With a step of forming an insulating sidewall spacer. H ... 功率金屬-氧化物-矽場效應電晶體(MOSFET)用於需要高電壓及高電流的應用中。一種類型的功率 ...
